Akademický rok 2021/2022 |
Garant: | prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. | |||
Garantující pracoviště: | ÚFI | |||
Jazyk výuky: | čeština | |||
Cíle předmětu: | ||||
Cílem kurzu je umožnit studentům prohoubit si znalosti funkcí nejdůležitějších technologických přístrojů používaných v oblasti fyziky povrchů a pevných látek. | ||||
Výstupy studia a kompetence: | ||||
Prohloubení znalostí o chování nabitých částic v elektromagnetických polích. Přehled použití elektronových a iontových čoček a spektrometrů využívaných současnými moderními technologiemi a jejich aplikace. | ||||
Prerekvizity: | ||||
Znalosti elektromagnetismu na úrovni učebnice HALLIDAY, D. - RESNICK, R. - WALKER, J.: Fyzika, VUTIUM, Brno 2001. MATEMATIKA: Základy vektorové analýzy. |
||||
Obsah předmětu (anotace): | ||||
Kurz se zabývá problematikou optiky nabitých částic ve fokusačních a vychylovacích systémech a spektrometrech. Jsou charakterizovány zdroje elektronů a iontů, optické prvky a systémy přístrojů a zařízení využívající svazky nabitých částic. Kromě praktického provedení jednotlivých prvků částicově optických systémů je důraz kladen také na teorii zobrazení a vad těchto systémů tak, aby studenti byli schopni efektivně využívat prostředky pro návrh těchto systémů. |
||||
Metody vyučování: | ||||
Předmět je vyučován formou přednášek, které mají charakter výkladu základních principů a teorie dané disciplíny. Cvičení je zaměřeno na praktické zvládnutí látky probrané na přednáškách. | ||||
Způsob a kritéria hodnocení: | ||||
Aktivní účast na cvičení, zpracování příkladů a protokolu. Zkouška je ústní a skládá se ze dvou otázek z předem zadaného seznamu, k třicetiminutové přípravě je možno použít jakoukoliv literaturu včetně vlastních poznámek z přednášek. | ||||
Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky: | ||||
Povinná účast na cvičeních, písemné zpracování příkladů. Protokol o výpočtech elektronových čoček prostřednictvím programu EOD. | ||||
Typ (způsob) výuky: | ||||
Přednáška | 13 × 2 hod. | nepovinná | ||
Cvičení | 7 × 2 hod. | povinná | ||
Cvičení s počítačovou podporou | 6 × 2 hod. | povinná | ||
Osnova: | ||||
Přednáška | Přehled přístrojů využívajících svazky nabitých částic pro studium složení a struktury látek. Vlnové a relativistické vlastnosti částic. Pohybová rovnice pro nabité částice v elektrických a magnetických polích. Kvalitativní popis elektrostatické a magnetické čočky a deflektoru. Rozvoj potenciálu v blízkosti osy. Realizace multipólů pro částicovou optiku. Obecné vyjádření rovnice trajektorie, paraxiální rovnice pro rotačně souměrnou a kvadrupólovou čočku, vlastnosti čočky s vychylovacími systémy. Optické vady systémů v částicové optice. Transport částic - použití maticového popisu. Základní numerické metody výpočtu rozložení potenciálu a jejich charakteristika. Zdroje elektronů a iontů. Základní vlastnosti a použití. Rastrovací elektronový mikroskop - princip tvorby obrazu, hloubka ostrosti, závislost proudu ve stopě na velikosti stopy. Elektronový litograf. Prozařovací mikroskop - konstrukce a parametry, tvorba obrazu a kontrastu, difrakce, rastrovací prozařovací mikroskop. Elektronové a iontové spektrometry - základní typy a vlastnosti. |
|||
Cvičení | Pohyb elektronu v homogenním elektrickém a magnetickém poli Odvození rovnice trajektorie a paraxiální rovnice Rozvoj potenciálu v blízkosti osy Geometrické vady 3. řádu elektrostatické a magnetické čočky Sférická vada magnetické čočky |
|||
Cvičení s počítačovou podporou | Aberační polynom - znázornění vad, vlastnosti jednotlivých vad a možnosti jejich potlačení. Velikost stopy - rozlišení Metoda konečných prvků - ukázka řešení 1D elektrostatického pole Úvod k programu EOD (Electron Optical Design) EOD - elektrostatická čočka: design čočky, fokusace, výpočty vad EOD - magnetická čočka, deflektory Práce na projektu |
|||
Literatura - základní: | ||||
1. M. Lenc, B. Lencová: Optické prvky elektronových mikroskopů. Metody analýzy povrchů. Elektronová mikroskopie a difrakce. (L. Eckertová, L. Frank ed.), Academia 1996. | ||||
2. B. Lencová, M. Lenc: Optika iontových svazků. Metody analýzy povrchů. Iontové, sondové a speciální metody. (L. Frank, J.Král, ed.), Academia 2002, 65-103. | ||||
3. B. Sedlák, I. Štoll: Elektřina a magnetismus. Academia 1993. | ||||
4. J. Orloff (ed.), Handbook of Charged Particle Optics. CRC Press, 2008. | ||||
5. L. Reimer, Scanning Electron Microscopy (2nd ed.), Springer,1998 | ||||
6. D. B. Williams, C. B. Carter, Transmission Electron Microscopy (2nd ed.), Springer, 2009 | ||||
Literatura - doporučená: | ||||
1. V. Hulínský a K. Jurek: Zkoumání látek elektronovým paprskem. SNTL 1982. | ||||
2. B. Urgošík: Dynamické hmotové spektrometry. SNTL 1972. | ||||
3. S. Humphries, Jr.: Charged Particle Beams. J. Wiley 1990. |
Zařazení předmětu ve studijních programech: | |||||||||
Program | Forma | Obor | Spec. | Typ ukončení | Kredity | Povinnost | St. | Roč. | Semestr |
N-FIN-P | prezenční studium | --- bez specializace | -- | zá,zk | 6 | Povinný | 2 | 2 | Z |
M2A-P | prezenční studium | M-PMO Přesná mechanika a optika | -- | zá,zk | 6 | Povinný | 2 | 2 | Z |
Vysoké učení technické v Brně
Fakulta strojního inženýrství
Technická 2896/2,
616 69 Brno
IČ 00216305
DIČ CZ00216305
+420 541 141 111
+420 726 811 111 – GSM O2
+420 604 071 111 – GSM T-mobile