Částicová optika (FSI-TCO)

Akademický rok 2019/2020
Garant: prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc.  
Garantující pracoviště: ÚFI všechny předměty garantované tímto pracovištěm
Jazyk výuky: čeština
Cíle předmětu:
Cílem kurzu je umožnit studentům prohoubit si znalosti funkcí nejdůležitějších technologických přístrojů používaných v oblasti fyziky povrchů a pevných látek.
Výstupy studia a kompetence:
Prohloubení znalostí o chování nabitých částic v elektromagnetických polích. Přehled použití elektronových a iontových čoček a spektrometrů využívaných současnými moderními technologiemi a jejich aplikace.
Prerekvizity:
Znalosti elektromagnetismu na úrovni učebnice HALLIDAY, D. - RESNICK, R. - WALKER, J.: Fyzika, VUTIUM, Brno 2001.
MATEMATIKA: Základy vektorové analýzy.
Obsah předmětu (anotace):
Kurz se zabývá problematikou optiky nabitých částic ve fokusačních a vychylovacích
systémech a spektrometrech. Jsou charakterizovány zdroje elektronů a iontů, optické prvky a systémy přístrojů a zařízení využívající svazky nabitých částic. Kromě praktického provedení jednotlivých prvků částicově optických systémů je důraz kladen také na teorii zobrazení a vad těchto systémů tak, aby studenti byli schopni efektivně využívat prostředky pro návrh těchto systémů.
Metody vyučování:
Předmět je vyučován formou přednášek, které mají charakter výkladu základních principů a teorie dané disciplíny. Cvičení je zaměřeno na praktické zvládnutí látky probrané na přednáškách.
Způsob a kritéria hodnocení:
Aktivní účast na cvičení, zpracování příkladů a protokolu. Zkouška je ústní a skládá se ze dvou otázek z předem zadaného seznamu, k třicetiminutové přípravě je možno použít jakoukoliv literaturu včetně vlastních poznámek z přednášek.
Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky:
Povinná účast na cvičeních, písemné zpracování příkladů. Protokol o výpočtech elektronových čoček prostřednictvím programu EOD.
Typ (způsob) výuky:
    Přednáška  13 × 2 hod. nepovinná                  
    Cvičení  7 × 2 hod. povinná                  
    Cvičení s počítačovou podporou  6 × 2 hod. povinná                  
Osnova:
    Přednáška Přehled přístrojů využívajících svazky nabitých částic pro studium složení a struktury látek.
Vlnové a relativistické vlastnosti částic. Pohybová rovnice pro nabité částice v elektrických a magnetických polích.
Kvalitativní popis elektrostatické a magnetické čočky a deflektoru.
Rozvoj potenciálu v blízkosti osy. Realizace multipólů pro částicovou optiku.
Obecné vyjádření rovnice trajektorie, paraxiální rovnice pro rotačně souměrnou a kvadrupólovou čočku, vlastnosti čočky s vychylovacími systémy.
Optické vady systémů v částicové optice.
Transport částic - použití maticového popisu.
Základní numerické metody výpočtu rozložení potenciálu a jejich charakteristika.
Zdroje elektronů a iontů. Základní vlastnosti a použití.
Rastrovací elektronový mikroskop - princip tvorby obrazu, hloubka ostrosti, závislost proudu ve stopě na velikosti stopy. Elektronový litograf.
Prozařovací mikroskop - konstrukce a parametry, tvorba obrazu a kontrastu, difrakce, rastrovací prozařovací mikroskop.
Elektronové a iontové spektrometry - základní typy a vlastnosti.
    Cvičení Pohyb elektronu v homogenním elektrickém a magnetickém poli
Odvození rovnice trajektorie a paraxiální rovnice
Rozvoj potenciálu v blízkosti osy
Geometrické vady 3. řádu elektrostatické a magnetické čočky
Sférická vada magnetické čočky
    Cvičení s počítačovou podporou Aberační polynom - znázornění vad, vlastnosti jednotlivých vad a možnosti jejich potlačení. Velikost stopy - rozlišení
Metoda konečných prvků - ukázka řešení 1D elektrostatického pole
Úvod k programu EOD (Electron Optical Design)
EOD - elektrostatická čočka: design čočky, fokusace, výpočty vad
EOD - magnetická čočka, deflektory
Práce na projektu
Literatura - základní:
1. M. Lenc, B. Lencová: Optické prvky elektronových mikroskopů. Metody analýzy povrchů. Elektronová mikroskopie a difrakce. (L. Eckertová, L. Frank ed.), Academia 1996.
2. B. Lencová, M. Lenc: Optika iontových svazků. Metody analýzy povrchů. Iontové, sondové a speciální metody. (L. Frank, J.Král, ed.), Academia 2002, 65-103.
3. B. Sedlák, I. Štoll: Elektřina a magnetismus. Academia 1993.
4. J. Orloff (ed.), Handbook of Charged Particle Optics. CRC Press, 2008.
Literatura - doporučená:
1. V. Hulínský a K. Jurek: Zkoumání látek elektronovým paprskem. SNTL 1982.
2. B. Urgošík: Dynamické hmotové spektrometry. SNTL 1972.
3. S. Humphries, Jr.: Charged Particle Beams. J. Wiley 1990.
Zařazení předmětu ve studijních programech:
Program Forma Obor Spec. Typ ukončení   Kredity     Povinnost     St.     Roč.     Semestr  
M2A-P prezenční studium M-FIN Fyzikální inženýrství a nanotechnologie -- zá,zk 6 Povinný 2 2 Z
M2A-P prezenční studium M-PMO Přesná mechanika a optika -- zá,zk 6 Povinný 2 2 Z