Principy zařízení pro fyzikální technologie (FSI-TPZ-A)

Akademický rok 2022/2023
Garant: prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc.  
Garantující pracoviště: ÚFI všechny předměty garantované tímto pracovištěm
Jazyk výuky: angličtina
Cíle předmětu:
Poskytuje studentům základní poznatky o moderních metodách příprav tenkých vrstev/multivrstev a jiných současných moderních technologií (např. tvorba nanostruktur).
Výstupy studia a kompetence:
Znalosti umožní studentovi lépe se orientovat ve světě moderních technologií, jakož i při výběru a vypracovávání diplomových úkolů a v případném doktorském studiu.
Prerekvizity:
Atomová fyzika, fyzika pevných látek, kvantová fyzika, statistická fyzika a termodynamika, vakuová fyzika a technologie.
Obsah předmětu (anotace):
Předmět podává přehled pokročilých technologií zaměřených na depozici tenkých vrstev/multivrstev a povlaků, leptání, dotování, žíhání materiálů a přípravu nanostruktur, zejména v podmínkách vakua. Zaměřuje se především na vysvětlení fyzikálních principů těchto procesů.
Metody vyučování:
Předmět je vyučován formou přednášek, které mají charakter výkladu základních principů a teorie dané disciplíny. Cvičení je zaměřeno na praktické zvládnutí látky probrané na přednáškách.
Způsob a kritéria hodnocení:
Zápočet je udělen na základě výsledků a kvality práce v hodinách cvičení (individuálně řešené příklady a projekt). Při zkoušce bude zohledněna práce studentů ve cvičení, během písemného testu je možné používat učební texty a pomůcky. Při ústní zkoušce proběhne diskuse o fyzikálních principech vakuových technologií a experimentálních zařízení.
Vymezení kontrolované výuky a způsob jejího provádění a formy nahrazování zameškané výuky:
Přítomnost na cvičení je povinná a je sledována vyučujícím. Způsob nahrazení zmeškané výuky ve cvičení bude stanovena vyučujícím na základě rozsahu a obsahu zmeškané výuky.
Typ (způsob) výuky:
    Přednáška  13 × 2 hod. nepovinná                  
    Cvičení  6 × 1 hod. povinná                  
    Cvičení s počítačovou podporou  7 × 1 hod. povinná                  
Osnova:
    Přednáška Úvod do fyzikálních technologií.
Přehled a charakteristika vybraných fyzikálních technologií a analytických metod.
Aplikace fyzikálních technologií: od povrchů k nanotechnologiím.
Principy a nástroje fyzikálních technologií.
Zdroje elektronových svazků (Emise elektronů, Extrakce a formování elektronových svazků, Aberace v částicové optice, Konstrukční řešení zdrojů elektronových svazků).
Zdroje iontových svazků (Způsoby přípravy iontů, Elektronově srážkové iontové zdroje, Plazma, Extrakce iontů z plazmatu, Extrakce a formování iontových svazků, Parametry iontových svazků, Plazmatické iontové zdroje).
Zdroje atomových a molekulárních svazků (Rozdělení atomových zdrojů, Efúze plynu, Úhlové rozdělení toku částic ze štěrbiny, Vyzařovací diagram zdrojů svazků neutrálních částic, Kolimátor, Zdroje svazků o termální energii).
Základy částicové optiky (Analogie mezi částicovou a geometrickou optikou, Laplaceova rovnice, Paraxiální rovnice trajektorie, Funkce čoček v částicové optice, Analytické metody v částicové optice, Částice v magnetickém poli, Schéma jednoduchého částicově optického systému, Průběh potenciálu na ose, Počítačová simulace iontových a elektronových svazků, Prostorový náboj).
Interakce částic s pevnými látkami (Interakce elektronů a iontů s povrchy pevných látek, Rozptyl, Odprašování, Kanálování, Interakční spektra).
Fyzikální technologie (Depozice tenkých vrstev a povlaků: CVD, PECVD, PVD, magnetronové naprašování, iontově svazkové naprašování, přímá depozice iontovými svazky, plazmatické a iontově svazkové leptání, litografie, implantace, epitaxe: MBE, MOMBE).
Nové trendy ve fyzikálních technologiích.
    Cvičení Kromě počítání teoretických podpůrných příkladů (probíhajících v průběhu celého semestru) studenti pracují na individuálních projektech(výpočetní program SIMION).
    Cvičení s počítačovou podporou Ve výpočetní laboratoři ÚFI FSI se studenti především seznámí s využitím programu SIMION (aktivně). Navrhnou optické systémy zařízení na bázi iontových a elektronových svazků.
Literatura - základní:
1. BRODIE, I. - MURAY, J. J.: The Physics of Micro/Nano-Fabrication
2. CHEN, F. F.: Úvod do fyziky plazmatu
3. VÁLYI, L.: Atom and Ion Sources
4. L. ECKERTOVÁ: Fyzikální elektronika pevných látek, Karolinum, Praha 1992
5. J. C. RIVIERE: Surface Analytical Techniques, Clarendon Press, Oxford 1990
6. D. HALLIDAY, R. RESNICK, J. WALKER: Fyzika. (2. přepracované vydání.) VUTIUM, Brno 2013
Literatura - doporučená:
1. ECKERTOVÁ, L.: Fyzika tenkých vrstev
2. ECKERTOVÁ, L.: Elektronika povrchů
3. RIVIERE, J. C.: Surface Analytical Techniques
Zařazení předmětu ve studijních programech:
Program Forma Obor Spec. Typ ukončení   Kredity     Povinnost     St.     Roč.     Semestr  
CŽV prezenční studium CZV Základy strojního inženýrství -- zá,zk 3 Povinný 1 1 L
B-FIN-P prezenční studium --- bez specializace -- zá,zk 3 Povinný 1 3 L
B-STI-Z příjezd na krátkodobý studijní pobyt --- bez specializace -- zá,zk 3 Volitelný 1 1 L