Téma doktorského studia

Depozice tenkých vrstev metodou IBAD

Školitel: prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc.
Školitel specialista: prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D.
Popis:
Naprašování tenkých vrstev za přítomnosti iontových svazků (IBAD): - depozice a měření parametrů izolačních ("high-K"), pasivačních, optických a bioaktivních vrstev/multivrstev rozprašováním keramik a syntetických minerálů (např. ZrO2, HfO2, Al2O3, hydroxylapatit, křemen).
Poznámka:
Podpora projekty: TAČR TE01020233: AMISPEC, GAČR P102/12/1881, European Regional Development Fund - CEITEC-CZ.1.05/1.1.00/02.0068 EU 7th Framework Programme No. 286154 - SYLICA a No. 280566 - UnivSEM
Rok Program Obor Zaměření Forma Jazyk Stav
2019/20 D4F-P D-FMI F P cs Schváleno oborovou radou